【金城净化】环保越来越受到人们的关注，尤其是雾霾天气的增多。净化工程是环保措施之一，如何利用净化工程来做好环保工作，下面来说说净化工程中的控制。

　　1、洁净室中的温湿度控制

　　洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

　　具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

　　直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

　　湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。

　　相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。

　　2、洁净室中的气压规定

　　对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：

　　1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

　　2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

　　3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

　　压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

【金城净化】 净化工程的洁净室中由于静电引起的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。

所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。

在洁净室内静电导致的事故有以下几方面；

1．静电电引起的静电电击，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)；

2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；

3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；

4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光破坏；

5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；

静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人体和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作，所有选些都可能产生静电，在一般情况下，越是电导率小的非导体（绝缘体），由于电荷产生后不易流动，因此表现为越容易带电。

静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都极易产生静电和集聚静电，以前在洁净室的静电灾害未被重视。

风淋室是一种通用性较强的局部净化设备，安装于洁净室与非洁净室之间。当人与货物要进入洁净区时需经风淋室吹淋，其吹出的洁净空气可去除人与货物所携带的尘埃，能有效的阻断或减少尘源进入洁净区。风淋室的前后两道门为电子互锁，又可起到气闸的作用，阻止未净化的空气进入洁净区域。     

风淋室的工作原理：采用喷流的气流形式，变速离心风机将负压箱内经过预过滤器过滤后的空气压入静压箱，再经出风面吹出的洁净气流，以一定的风速通过工作区时，将人、物本身的尘埃颗粒和生物颗粒带走，从而达到洁净的目的。 

风淋室功能：风淋室是人/货进入洁净室所必须通道，起到气阀室密闭洁净室的作用。可以减低人/货进出洁净区所带来的污染问题。为了减少由于人/货进出所带来的大量尘埃粒子，经过高效过滤后的高速洁净气流由可旋转喷射至人/货上，有效而迅速的清除人/货从非洁净区所带来的尘埃粒子及细菌。  

风淋室机构：风淋室由大箱体(风机、过滤器安装于此箱体内)、小箱体(双吹风淋室此侧安装喷嘴，数量与大箱体一致、顶板(安装内嵌式照明灯)、内底板(不锈钢砂板)、风淋室双门体与其它配件：过滤器，风机，智能电路板，喷嘴，照明灯等组成。

1、出风口保持顺畅，不要堆放大件物品阻挡风首，影响制冷或制热效果，增加电能消耗。

2、职员长时间离开房间时，提前10分钟关掉空调，节约电能。

3、按期清洗空调进风口过滤网和出风口风向调节板，这样可使净化空调的进风通畅，保持空气洁净，降低能耗的同时对人的健康也有利。

4、使用空调的房间应安装窗帘，在夏季遮住日光的直射可使空调节电约5%，冬季白天使日光射进房间，夜间用窗帘遮挡，以防热量损失。

5、空调运行时尽量少开门窗，频繁地开闭门窗会使空调的制冷或制热效果降低，铺张电能。

6、使用空调不应频繁开关，不要由于房间温度已达到或高于设定温度而常常启动和封闭空调，应当让空调通过温度控制器来自动迭制启动和封闭。

7、公道设置温控器温度，一般温度设定在24度至26度为宜，避免过热或过冷，夏季时调高1度，可节电10%左右，冬季时调低1度，则可节电5-8%。

8、每天开机前先开窗透风一段时间，降低室内有毒气体浓度，保持空气清新。

9、科学设置开机时和使用中的温度、风量，刚开机时，先设置高冷或高热、大风量，使其快速达到理想温度，当温度相宜时，改为常用温度，中，低风量，减少能耗，降低噪音。